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產(chǎn)品系統(tǒng)NEWS CENTER

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產(chǎn)品系統(tǒng)

首頁-產(chǎn)品系統(tǒng)--納米壓印配套設備-150mm&300mm 全自動納米壓印光刻預處理設備

150mm&300mm 全自動納米壓印光刻預處理設備

產(chǎn)品型號:

簡要描述:GL150 PreNIL & GL300 PreNIL,150mm&300mm 全自動納米壓印光刻預處理設備,Cassette to cassette機械手自動上下片,包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能。

  • 廠家實力

    Manufacturer Strength
  • 有效保修

    Valid Warranty
  • 質量保障

    Quality Assurance

詳細介紹

全自動納米壓印光刻基底預處理;

Cassette to cassette機械手自動上下片,包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能;

毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗;

旋涂勻膠,包含自動供膠系統(tǒng)、EBR、BSR等功能;

熱板烘烤、冷板冷卻功能;

可選配Plasma表面處理功能。

 

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